靶材綁定基礎知識

一、什么是綁定

綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導電膠。靶材綁定常用釬焊，釬料常用In、Sn、In –Sn，一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/㎝2。

二、為什么要綁定

1、防止靶材受熱不勻碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材；

2、節(jié)省成本，防止變形，如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。

三、背靶的選擇

1、常用無氧銅，導電性好，無氧銅的導熱性比紫銅好；

2、厚度適中，一般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強；太薄，容易變形。

四、綁定過程

1、綁定前將靶材和背靶表面預處理
2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上，升溫到綁定溫度
3、將靶材和背靶金屬化
4、粘接靶材和背靶
5、降溫和后處理 

五、綁定靶材使用的注意事項

1、濺射溫度不宜太高

2、電流要緩慢加大

3、循環(huán)冷卻水應低于35攝氏度

4、適宜的靶材致密度

六、背靶脫落的原因

1、濺射溫度高，背靶易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時會開裂，造成背靶脫落；

2、電流太大，導熱太快造成溫度過高，焊料熔化，造成焊料不均勻，造成背靶脫落；

3、循環(huán)冷卻水出水口的溫度應低于35攝氏度，循環(huán)水溫度高，造成散熱不好而脫落；  

4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時，不易吸附，無空隙，背靶易脫落。